纳米级高速表面轮廓测量仪

OptiSurf ?300 纳米级高速表面轮廓测量仪 
    
 

特点:
? 非接触式测量
? *附加参考物（面）
? 高速扫描(> 100,000 采样点/秒)
? 高空间分辨率(50 μm 采样间隔)
? 巨大的测量区域
? 低成本

应用范围:
? 几乎所有平定向反射面
? 夜晶显示器玻璃；? 半导体片
? 平晶
? 任意表面
? 光学非球面

技术规格:
? 测量范围:-300mm测量
? 光束直径:0.7mm
? 水平采样分辨率:0.2mm
? 检测器倾斜范围:5mrad
? 检测器倾斜分辨率:2μrad
? 高度测量范围:185μm
? 测量时间:<2分